集微网消息（文/图图）材料和设备是半导体产业的基石，新兴应用市场带动半导体产业的增长，从而带动上游半导体材料与设备的需求增长。从Gartner、SEMI数据来看，半导体材料的市场比设备市场要大。

半导体材料行业是半导体产业链中细分领域最多的产业链环节，其中晶圆制造材料包括硅片、光掩模、光刻胶、光刻胶辅助材料、工艺化学品、电子特气、靶材、CMP抛光材料等，封装材料包括引线框架、封装基板、陶瓷基板、键合丝、包封材料、芯片粘结材料等，每一种大类材料又包括几十种甚至上百种具体产品。半导体制造每一个环节都离不开半导体材料。仅从中国市场来看，在扩张IC制造产能的背景下，对半导体材料的需求也随之增加。

多位业内人士向集微网表示，材料将成为今后半导体领域最有投资机会的方向。

而从国内材料领域的投资布局来看，除第三代半导体材料等前沿技术外，国内在电子特气、大硅片等领域已有不少投资动作，分为并购、合作等多种投资形式。

企业横向拓展、纵向延伸，扩大布局

电子特气是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断。

以特殊气体为例，中船重工718所、南大光电都通过投资扩大产品布局。

中船重工718所

中船重工旗下的718所是国家“02专项”半导体用气体项目的牵头单位。已经成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢、三氟化氮、六氟化钨等9种高纯气体及10种混合气体，并成功进行了产业化。

718所是邯郸市高新技术行业的领头羊，经过多年发展，产业规模由小变大，由大变强，逐步成长为世界一流的特种气体产品供应商。2018年5月，邯郸肥乡区举办中船重工718所产品推介会暨一期项目投产、二期项目开工仪式。

肥乡官方消息显示，718所特种气体生产项目规划总投资32亿元，其中， 一期工程投资10.8亿元，建设年产5400吨新材料，主要产品包括三氟化氮和六氟化钨两种气体，于2017年4月全面开工建设，2017年底竣工试生产，目前已实现满负荷生产；二期工程投资12亿元，建成年产特种气体7400吨及氮气8万吨。建成后，年产高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、三氟甲磺酸及其衍生物等新材料20000吨。

南大光电

2019年8月30日，公司与山东省淄博市高青县人民政府签署了《高青县人民政府与江苏南大光电材料股份有限公司关于含氟电子特种气体项目的投资合作协议》。南大光电拟在山东省淄博市高青县投资扩建含氟电子特种气体项目，并于项目建成后，从事三氟化氮及六氟化硫的相关生产经营活动。本次项目实施主体为山东飞源气体有限公司。

据投资高青官方消息，飞源气体是国内三氟化氮重要供应商中唯一民企，成为台积电、中芯国际、京东方等国际领先企业的供应商。此次签约完成后，南大光电将投资2.4685亿元并购山东飞源气体有限公司，并购完成后总投资3.8亿元扩建含氟电子特种气体项目。同时，南大光电有望在5年内，投资20亿元打造国家级电子材料基地，建设全球含氟电子特气龙头企业。

参与国际公司的中国本土化投资

近年来，半导体国际厂商纷纷与本土企业深度融合，展开合作。参与国际公司的中国本土化布局也成为国内材料企业的一种投资机会。

黎明化工牵手韩国大成

2014年，中国化工集团公司下属的黎明化工研究设计院有限责任公司就与韩国大成签约，合资成立洛阳黎明大成氟化工有限公司，投资2.74亿元建设年产1000吨三氟化氮项目。

博纯、湖北晶星牵手Entegris

2017年，Entegris先后与博纯、湖北晶星签约。

2017年3 月，Entegris宣布与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大其在中国的业务。根据协议，特殊化学品制造商和经销商博纯材料将在其位于泉州的工厂制造 Entegris 特殊化学品，该协议解决了国内半导体和相关电子产业行业的增长需求。2017年8月15日， Entegris携手博纯为博纯位于泉州永春的新化学工厂举办盛大开幕式，庆祝Entegris与特殊化学品制造商博纯材料（福建）有限公司共建的新工厂投入生产运营。Entegris也成为首家在华生产特殊气体产品的国际材料公司。

2017年9月，Entegris宣布与中国湖北随州的特殊化学品制造商湖北晶星科技股份有限公司签订协议，合作生产 Entegris 高纯度沉积产品。这些高纯度沉积产品包括 TEOS(硅酸四乙酯)，这种材料对于半导体制造领域采用的 3D NAND 技术至关重要，该技术用于生产速度更快的先进储存设备与内存。

晶瑞股份联手三菱化学

2018年，晶瑞股份联手三菱化学打造中国90000吨/年电子级硫酸基地。晶瑞化学依托下属子公司年产30万吨的优质工业硫酸原材料优势，并结合从日本三菱化学株式会社引进的电子级硫酸先进制造技术，投资建设年产90000吨/年的电子级硫酸项目。该项目位于江苏省南通市，产品技术将覆盖集成电路制造10纳米等制程技术工艺节点。

据悉，目前国内高端半导体用硫酸主要依赖进口，随着我国8-12英寸晶圆厂的快速建设，未来市场需求20-30万吨，高等级硫酸预计数年内会首现紧缺。

2018年10月，浙江博瑞电子科技有限公司与日本中央硝子株式会社在日本东京签署了合资公司合同，约定共同出资在衢州设立中日合资公司，开展WF6（400吨/年）等系列高纯电子气体的生产和销售业务。目前双方已向有权管理机关申请合资公司设立登记。据悉，合资项目计划落户于衢州“中国电子化学材料产业园”。

海外并购、技术合作等投资

海外并购、技术合作等获取产品技术所有权或使用权，这些都可以使企业获得并购与技术合作投资。

上海硅业入股Soitec

2016年，Soitec 宣布上海硅产业投资有限公司（NSIG）计划收购Soitec 14.5%的股份，旨在为 Soitec 扩大融资规模，并促进 FD-SOI 技术在中国的推广。上海硅产业是由国家大基金和上海嘉定工业区等机构共同出资成立。上海硅产业入资Soitec，换而言之即是一家中国芯国家队企业通过投资加强国际合作，来提升硅材料产业综合竞争力。

法国Soitec半导体公司是设计和生产创新性半导体材料的全球领先企业，是SOI晶圆供应商。新傲科技与Soitec有密切的合作关系。

Soitec与新傲科技的合作始于2014年，双方签署了合作协议和技术转让协议。自此以来，新傲科技应用Soitec的Smart Cut专利技术生产高质量的RF-SOI和Power-SOI产品，并达到世界级水准。新傲科技与Soitec的战略合作伙伴关系使得他们可使用同样的设备和制造工艺，生产符合相同规格和要求的同类产品。

2016年，对于Soitec和新傲科技来说，是极具里程碑意义的一年。这一年，Soitec和新傲科技宣布首个采用Soitec专有Smart Cut技术制作的200mm SOI晶圆在上海工厂生产成功。

今年2月，Soitec与新傲科技联合宣布将加强合作关系，扩大新傲科技位于中国上海制造工厂的200mm SOI晶圆年产量，从年产18万片增加至36万片。

雅克科技收购UP Chemical

自2016年4月开始，雅克科技加速外延并购，急速进入半导体行业。继2016年收购华飞电子后，2017年10月18日晚雅克科技发布公告称，公司拟以发行股份的方式，收购成都科美特特种气体有限公司90%股权、江苏先科半导体新材料有限公司84.825%股权，交易总对价为24.67亿元。

而雅克公司与江苏华泰瑞联并购基金等公司合作，通过参股公司江苏先科跨境收购韩国UP Chemical公司96.28%股份。

资料显示，江苏先科于2016年6月由雅克科技出资设立，是为收购韩国UP Chemical公司股权所搭建的收购平台。2016年12月，江苏先科已完成了韩国UP Chemical公司96.28%股份的收购。

雅克科技同时收购韩国UP、科美特两个标的，收购方案复杂，涉及时间较长。2018年3月14日，中国证监会重组委正式审核通过雅克科技收购韩国UP、科美特，无条件过会。

值得提及的是，该交易还得到国家大基金的战略引进。2017年10月18日，雅克科技发布公告，国家集成电路产业基金共投资5.5亿元，交易完成后将成为雅克科技第三大股东。（校对/范蓉）